RGA 殘餘氣體分析 (Outgassing)

RGA 殘餘氣體分析 (Outgassing) 
RGA 殘餘氣體分析儀結合 AI PC 系統整合可以更快速
比對氣體量結合 AI 可提前判斷異常並與前後 Log
比對後自動產生報表,適用於半導體真空設備 leak 測漏與
製程特氣監控 .